從潔凈室來說，它是一個比較全面的，由于時刻的聯(lián)系，咱們不能做悉數(shù)的介紹，只能從空調(diào)方面來做介紹。它關(guān)于咱們國家來說，也是革命性的環(huán)境的解決計劃。

　　這是咱們典型的前期的計劃，這一塊的半導(dǎo)體工廠的人員、車間都是在這個位置。那么，上下都是新風(fēng)機，那么它的作業(yè)原理是在天花頂層有一個重復(fù)的高效作用器。這上面兩個是循環(huán)空調(diào)機，也能夠放在上面，也能夠放在旁邊面。經(jīng)過新風(fēng)機組彌補新風(fēng)，經(jīng)過循環(huán)風(fēng)機把潔凈室經(jīng)過地上下來的回風(fēng)，經(jīng)過循環(huán)風(fēng)機關(guān)于冷量和濕度的調(diào)理，然后送到靜壓箱進(jìn)行混合，然后經(jīng)過頂部循環(huán)到車間里邊去。這么，使咱們悉數(shù)的氣體，跟咱們大型的空調(diào)不一樣。咱們大型的空調(diào)也許只要幾個功用，這兒是一切的空氣從頂層悉數(shù)壓下來。這是咱們第一步完成的現(xiàn)代潔凈室的原理，它到達(dá)了100級以上。

　　100級是什么概念呢？舉個比如，今日咱們在做的環(huán)境，是咱們看到的十分潔凈的環(huán)境，應(yīng)該是多少級呢？是200萬到300萬級，即是每立方英尺大于5個顆粒，即是相當(dāng)于3.05平方米，這么大的體積里邊所擁有的超越0.5以上的微米是多少。那么，咱們今日這個環(huán)境，我估量在200萬到300萬G。那么，這么的潔凈室，到達(dá)的是100微米，即是不能超越100微米，得小于100微米。　　咱們的集成電路在封裝之前，它的導(dǎo)線咱們國家保存地說是0.08微米，也有說是0.07微米。所以，三個電路發(fā)作出來的悉數(shù)是這個，所以環(huán)境關(guān)于成品是十分關(guān)鍵的。這是到達(dá)了100級的潔凈室。
　那么，到了90年代末期，比如說長虹等等的廠家，咱們弄了一個909工程開端上馬了。潔凈室的建筑面積到達(dá)了1萬3千平方米，凈化面積是1G。那么方才說的是100級，那么如今說的是1級。方才我講的0.5微米以上是100級，那么這兒要求的是更高，是0.12微米。所以潔凈室的技能進(jìn)一步進(jìn)步了。

　　經(jīng)過干盤管進(jìn)行溫度的交流，在兩頭從這兒往上走。走到咱們上面的靜壓箱，然后經(jīng)過別的一個全新的設(shè)備，即是FFU，這是什么意思呢？即是高效空氣過濾單元，經(jīng)過它往下走。新風(fēng)空調(diào)機在這兒，咱們要往上送，它從創(chuàng)新的視點中心上來說，即是用了FFU這個東西。　　它從作業(yè)原理上，解決了咱們前面一個原理。前面一個進(jìn)程是什么呢？雖然是徹底從頂上壓下來，咱們空氣潔凈決議空氣的氣流構(gòu)成方式。即是從理論上，要嚴(yán)格地每一個空氣都筆直下來，悉數(shù)地壓下來。這么的話，咱們的空氣會相本地潔凈。可是，事實上做起來會十分艱難。       艱難作哪里？咱們能夠看到，它是經(jīng)過外部的風(fēng)機把它送上去，送進(jìn)去今后在這兒往下壓。那么，這必定存在著一個阻力不平衡的疑問，那么阻力大的地方風(fēng)速就大，阻力小的地方風(fēng)速就小，就不能嚴(yán)格地確保這個風(fēng)體的筆直性。

　　咱們這兒把悉數(shù)的屋面，確保筆直的情況下，這么才干做到1級。1級是什么概念？即是1平方米只能是1微米，可是做可不能這么，由于你思考不能依照60分考，你依照60分考，你就也許是58分。所以，你要依照70分、80分去考，所以1微米等于是沒有做。

　　到了這個等級咱們的凈化是跟FFU的物質(zhì)密度有聯(lián)系，那么物質(zhì)密度越大，氣流就越多，可是帶來的疑問是關(guān)于悉數(shù)空氣循環(huán)的量十分大。那么，咱們這邊通道的要求就要很寬闊，那么空氣的量越大，關(guān)于空氣處理的量就越大。咱們空氣每發(fā)作一次循環(huán)，就有一個溫升，溫度就要進(jìn)步，所以冷卻。所以，它處理的量就大了，那么這邊的阻力就加大了。